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磁流體真空密封傳動裝置
Vacuum transmission
磁流體真空密封轉動裝置
Ferrotec - 密封領域的全球領導者
磁流體真空傳動裝置是把旋轉運動傳入真空容器的一種部品解決方案,杜絕了氣體泄漏和污染,適用于對密封要求很高的場合。如今,在許多需要自由控制進給的裝置上,真空傳動裝置已得到廣泛應用,如在硅生長、目標位置電子指示器、濺射、等離子蝕刻、化學氣相淀積、離子移置技術、液晶再生過程中,減少了不必要的停機時間,具有特殊意義。
磁流體真空傳動裝置
從半導體制造業到航空航天業,Ferrotec的真空傳動裝置以苛刻環境中良好的密封性能而得到全球公認。 我們致力于為客戶提供多種類型的真空密封裝置,真空旋轉密封裝置,密封組件和密封件的集成,以及真空環境下密封傳動問題的終極解決方案。
多軸密封傳動裝置
多軸密封傳動裝置
多軸密封傳動裝置主要為機械手而設計,這類產品廣泛應用于半導體的加工和生產,同時我們也有10-8Torr的超高真空用密封裝置。
集成電機磁流體真空傳動裝置
集成電機磁流體真空傳動裝置
Ferrotec提供的FerroDrive集成電機磁流體真空傳動裝置將一個密封Ferrofluidic真空磁流體、一個高精度電機以及控制器集成起來,為客戶提供一件緊湊且高性能的密封旋轉系統。這種設計根除了客戶在聯接分立部件時遭遇到的整合挑戰以及潛在的機械故障點。同軸驅動磁流體裝置經典應用領域包括:MOCVD、薄膜產業、光學鍍膜、離子束沉積、離子束刻蝕、物理氣相沉積、離子濺射、離子注入以及任何需要應用電機的場合,特別是需要伺服電機的場合。
空心軸密封傳動裝置
空心軸密封傳動裝置
空心軸密封傳動裝置有一個卡箍,它通過0型圈密封把用戶軸和密封裝置的轉軸連在一起。運用的典型例子就是濺射設備,其中例如電子、中性子或離子的注入用旋轉單元、旋轉物架以及X射線和光學機器。空心軸密封傳動裝置有通孔型、法蘭型等,也可以按照用戶的要求進行特殊設計或不帶卡箍。
實心軸密封傳動裝置
實心軸密封傳動裝置
我們有多重實心軸傳動裝置,例如:微型、通孔型、法蘭型、重負載型,適用于各種場合。除小徑的轉軸外,轉軸的動力裝配部和用戶安裝部的形狀有標準的鍵槽以外,還能根據用戶的要求,設計、制造多重配合形式,如扁平面、螺紋連接、孔連接等。我們的標準公制密封傳動裝置也有適用于高溫、重負載、高速場合時的水冷形式(除一些微型、通孔型磁性流體密封裝置以外)
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聯系電話: 0571-86699985
E-mail: [email protected]
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磁流體真空傳動裝置特性
密封圈特性
磁性流體包圍整個轉軸,成為一個隔絕空氣、水氣、煙霧等元素的密封圈,幾乎無泄漏,密封圈的泄漏微弱到無法測量,甚至使用質譜儀也無法測量(1*10-11torre/sec)
長壽命特性
“液體0型密封圈”由一個穩定的磁性流體構成,其裝置可以長期使用10年無需維修。
良好可靠性
密封圈由永磁結構和穩定的磁性流體組成,所以機械磨損僅發生在軸承上。
無污染特性
因為密封圈無磨損,沒有微粒產生,降低了整個系統的污染而且低的氣壓可使密封圈便于維修,其真空度可控制在8-10Torr。
最佳的力矩
傳輸特性
力矩可100%的輸送,保證一個無阻礙的單項運動。
低阻尼和
高速旋轉能力
磁性流體極低的粘滯阻力和磁性流體進給裝置無需接觸密封圈的結構,決定了他的穩定操作和高速轉動。
磁流體真空傳動裝置定制
當因產品開發遇到技術瓶頸的時候,也許一個前所未有的真空傳動裝置就能助力度過難關。Ferrotec(中國)以客戶為中心,我們的設計和制造能力能夠保證根據客戶的要求設計出適用于客戶應用環境的產品。
Matrix diagram of applications in various fields
各領域的應用之矩陣圖
真空技術相關
磁流體真空密封傳動裝置

硅生長;

MOCVD;

薄膜產業;

離子束沉積;

離子束刻蝕;

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離子注入;

液晶再生過程;

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真空鍍膜設備;

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光纖預制棒氣相沉積裝備;

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光纖拉絲裝備

新能源電池制造裝備;

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MRI核磁共振;

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該產品的生產基地
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